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一、 產(chǎn)品描述

SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、國防軍工、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D、3D參數(shù)作為評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

二、    產(chǎn)品功能

1）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測(cè)量功能；

2）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測(cè)功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級(jí)別；

3）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；

4）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；

5）具備自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)測(cè)量、自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量等自動(dòng)化功能；

6）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；

7）具備word、excel等數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能。

三、    應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用范例：

半導(dǎo)體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC
3C電子.藍(lán)寶石玻璃粗糙度、手機(jī)金屬殼模具瑕疵、手機(jī)油墨屏高度差
超精密加工.光學(xué)透鏡	精密加工.發(fā)動(dòng)機(jī)葉片
精密加工.金字塔型金剛石磁頭	標(biāo)準(zhǔn)樣塊.單刻線臺(tái)階、多刻線粗糙度

 

四、性能特色

1.高精度、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高；

2）獨(dú)特的隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng)，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得極高的測(cè)量重復(fù)性。

2.一體化操作的測(cè)量分析軟件

1）測(cè)量與分析同界面操作，無須切換，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程；

4）幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；

6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)。

3.精密操縱手柄

集成X、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦、找條紋等測(cè)量前工作。

 4.雙重防撞保護(hù)措施

除初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，最大限度的保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

5.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

五、應(yīng)用案例：

六、樣品測(cè)試報(bào)告：

點(diǎn)擊表格內(nèi)圖片或文字可查看詳細(xì)報(bào)告數(shù)據(jù)

注：粗糙度性能參數(shù)依據(jù)ISO 25178國際標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量Sa為0.2nm硅晶片Sq參數(shù)獲得；

臺(tái)階高性能參數(shù)為依據(jù)ISO 5436-1:2000標(biāo)準(zhǔn)在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下測(cè)量4.7μm臺(tái)階高標(biāo)準(zhǔn)塊獲得。

申請(qǐng)條件

1、申請(qǐng)者必須為格旭商城注冊(cè)會(huì)員，會(huì)員信息齊全；

2、同一個(gè)公司不可對(duì)同一品類的商品重復(fù)申請(qǐng)?jiān)囉?

3、試用僅面向最終企業(yè)用戶

4、本試用品非贈(zèng)送品，試用完用戶需要寄還格旭

5、免費(fèi)試用期7天（按快遞簽收日期起至歸還快遞攬件日期止）

6、通過試用申請(qǐng)的用戶，需與格旭簽訂試用協(xié)議，保證試用品完好無損，定期歸還。試用期間商品出現(xiàn)人為損壞或是遺失，需由用戶按照格旭官網(wǎng)售價(jià)進(jìn)行賠償

7、本免費(fèi)試用商品寄出運(yùn)費(fèi)由廠家承擔(dān)，退回運(yùn)費(fèi)由客戶承擔(dān)，后期客戶如需購買可減免該快遞費(fèi)用。

8、本品一次性客戶只能申請(qǐng)1臺(tái)，同品牌不得再次申請(qǐng)

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